據(jù)報(bào)道稱:上海微電子將在2021年交付采用ARF光源制程工藝為28納米的光刻機(jī)，并且次光刻機(jī)在經(jīng)過(guò)多次曝光之后，可以制造出11納米制程的芯片。目前來(lái)看，這個(gè)消息應(yīng)該是真的。也就是說(shuō)，國(guó)內(nèi)在2021年，就有自己制造的生產(chǎn)28納米制程芯片的光刻機(jī)了。雖說(shuō)，還不能與阿斯麥公司的極紫外EUV光刻機(jī)相比，但是足以推進(jìn)我國(guó)工業(yè)芯片和軍用芯片的性能向前邁一大步了。

按光源來(lái)分的話，光刻機(jī)已經(jīng)發(fā)展了五代。第一代是采用波長(zhǎng)為436納米的g-line光源的光刻機(jī)，其制程工藝節(jié)點(diǎn)為800納米-250納米；第二代采用波長(zhǎng)為365納米的i-line光源的光刻機(jī)，其制程工藝節(jié)點(diǎn)也是800納米-250納米；第三代采用波長(zhǎng)為248納米的KRF光源的光刻機(jī)，其制程工藝節(jié)點(diǎn)為180納米-130納米；第四代也就是波長(zhǎng)為139納米的Arf光源的光刻機(jī)，其制程工藝節(jié)點(diǎn)為130納米-65納米，45納米-22納米；第五代也就是波長(zhǎng)為13.5納米的EUV光源的極紫外光刻機(jī)，其制程節(jié)點(diǎn)為22納米-7納米。

而上海微電子將在2021年交付的也就是第四代光刻機(jī)，制程工藝節(jié)點(diǎn)為28納米。其實(shí)上海微電子與2007年制造了制程工藝節(jié)點(diǎn)為90納米的光刻機(jī)，迄今過(guò)去了13年。經(jīng)過(guò)14年的發(fā)展，再次拿出第四代光刻機(jī)也是很正常的。雖說(shuō)，我國(guó)現(xiàn)在無(wú)法制造出二氧化碳EUV光源，但是在固體深紫外光源的研發(fā)上是處于國(guó)際領(lǐng)先地位的，最明顯的例子就是KBBF晶體。

另外光刻機(jī)比較重要的鏡頭，國(guó)內(nèi)也是可以自制的。長(zhǎng)春光機(jī)所于2016年研發(fā)出了波像差優(yōu)于0.75 nm RMS 的兩鏡EUV 光刻物鏡系統(tǒng)。清華大學(xué)也在2014年研發(fā)出掩模臺(tái)/硅片臺(tái)同步掃描指標(biāo)實(shí)測(cè)達(dá)到2.2nm，4.7nm。所以說(shuō)，光刻機(jī)最重要掩膜臺(tái)和工作臺(tái)，鏡頭組，光源都可以由國(guó)內(nèi)單位自己制造出來(lái)，那么上海微電子研制出制程工藝為28納米的光刻機(jī)也沒(méi)有什么可懷疑的。只是在明年交付之后，芯片的良品率并不會(huì)一下子就上去，還要過(guò)段時(shí)間才可以提升上去。

另外，上海微電子即將交付的光刻機(jī)，在經(jīng)過(guò)多次曝光之后，制程工藝還可以提高到11納米。這樣一來(lái)，對(duì)那些芯片并不急需，但要求制程工藝的公司來(lái)說(shuō)，也是一個(gè)好消息。畢竟國(guó)內(nèi)有了這種光刻機(jī)，就不必在受到國(guó)外的制裁了。對(duì)于EUV光源，我國(guó)還需要加大研發(fā)力度，爭(zhēng)取早日取得突破。只要光源突破之后，那剩下的就沒(méi)有什么太大的難題了

由此可知，上海微電子交付28納米制程工藝的光刻機(jī)有較大意義。

讓你失望了，上海微電孑沒(méi)有研制出11納米的光刻機(jī)。但是，再告訴你一個(gè)好消息，明年，上海微電子將研制出28納米的光刻機(jī)，經(jīng)過(guò)多次光刻后，能精確到11納米。再告訴你個(gè)更大的好消息，我們國(guó)家的實(shí)驗(yàn)室里巳經(jīng)研制成功了9納米光刻機(jī)，雖然，工廠化量產(chǎn)還得多年以后。相信.，上海微電子所一定會(huì)不辱使命，在光刻機(jī)領(lǐng)域大展伸手，舞出明天中國(guó)光刻機(jī)的一片希望之所。

這個(gè)消息不好定論，提供多少納米工藝一般指光波長(zhǎng)，11nM特意避開常用波長(zhǎng)怕別人記不?。课宜赖暮糜玫募す馄饕话阋?guī)格是一樣的基波長(zhǎng)，然后都攜帶一串幅度減小的多個(gè)高次諧波，1/3，1/5，1/7波長(zhǎng)…有限一連串的波，用濾波器把波長(zhǎng)極短的那個(gè)給濾出來(lái)做為最小的光斑使用，所以少有8，9，10nM的波長(zhǎng)，所以11nM有沒(méi)有難說(shuō)，請(qǐng)大家判斷，或請(qǐng)發(fā)消息者說(shuō)明是哪來(lái)的。